Experten für Substratheizung

Vakuum-Öfen

Wir bei Thermic Edge sind stolz darauf, an der Vorfront der Vakuum-Ofenindustrie zu stehen.Unsere maßgeschneiderten, vielfältigen Produktreihen bieten einen vollständigen Service und bieten die notwendigen Produkte für jede Anwendung.

Hochtemperatur-Vakuumöfen Übersicht

Thermic Edge liefert ein Standardsortiment an Hochtemperatur Vakuum-Öfen, Heizung bis zu 3000˚c. Anwendungen für Forschung und Industrie umfassen: Thermische Verarbeitung, Glühen, Vakuumsintern und Vakuumwärmebehandlung in einer hochreinen, sauberen Umgebung.

Unsere halbautomatischen Vakuumöfen ermöglichen die Verwendung von einem oder mehreren Gasen und erlauben die Verarbeitung von Atmosphärendruck bis zu Hochvakuum mit Graphit- oder Wolfram-Heißzonen, die alle über ein einfaches HMI-Touchscreen-Display mit nur einem Klick gesteuert werden, das auf einem kleinen, leichten und beweglichen Rahmen basiert.

Das Designteam von Thermic Edge arbeitet eng mit den Kunden zusammen, um diese zu unterstützen:

  • Professionell gemanagte Projekte von Anfang bis Ende
  • Kostengünstige Lösungen unter Verwendung von Standard-Thermic-Edge-Komponenten und -Baugruppen, wo immer möglich
  • Detaillierte technische Zeichnungen und schriftliche Spezifikationen
  • 3D-CAD-Modelle
  • Eine Heizungslösung, die vollständig getestet und bereit zur Integration in Ihr System geliefert wird
  • Handbuch mit detaillierten Installations- und Betriebsanweisungen

Labor-Vakuumöfen Sortiment

Thermic Edge bietet Lösungen für den Probentransfer für alle Anwendungen von Beschichtungssystemen. Wir arbeiten eng mit unseren Kunden zusammen, um unsere Probenheiztische in ihre Ladesysteme zu integrieren. Die Bühnen können oben oder unten montiert werden, mit manueller oder automatischer Probenbeladung / Wafer-Transfer.

Diese große, verfahrbare Plattform kann eine einzelne Balggröße bis zu ø93,0 mm (interne, durchgehende Bohrung) oder mehrere Faltenbälge DN16-35/40CF (max. 3x) für unterschiedliche Durchführungen aufnehmen.

Linearmanipulatoren dieser Bauart können auf Wunsch mit unterschiedlichen Wegmesssystemen und Maßstäben ausgestattet werden. Sie können mit Montageflanschen von DN2022-350CF (Conflat) oder ISO200-400K/F (ISO geklemmt/geschraubt) und Standardhüben von entweder 50, 100 oder 250 mm konfiguriert werden.

Auf Anfrage kann unser hauseigenes Konstruktions- und Ingenieurteam größere Flanschgrößen und/oder größere Hublängen (bis zu 1000 mm) sowie eine X-Ausrichtung des oberen Flansches und Kippkonfigurationen entsprechend Ihren individuellen Anforderungen realisieren.

Optionen für Laboröfen

  • Graphit-Tiegel & Wafer-Labor-Vakuum-Ofen
  • Wolfram-Tiegel & Wafer-Labor-Vakuum-Ofen
  • Graphit-Tiegel & Wafer-Tischvakuumofen
  • Wolfram-Tiegel & Wafer-Benchtop-Vakuum-Ofen

Wir sind auch darauf spezialisiert, die Anforderungen unserer Kunden mit maßgeschneiderten Optionen für ihr System zu erfüllen, die speziell auf ihre Bedürfnisse und Anwendungen zugeschnitten sind.

Tiegelöfen (Tiegelgrößen)

  • 2000°c Medium Labor-Vakuumofen mit Graphit-Heißzonen-Tiegelofen, 5kW DC-Netzteil. Graphit-Heißzone - Ø60,5 x 75mm ODER Ø102mm x 51mm
  • 2000°c Großer Labor-Vakuumofen mit Graphit-Heißzone-Tiegelofen, 15kW DC-Netzteil. Graphit Heiße Zone - Ø150 x 75mm
  • 2000°c Extra großer Labor-Vakuumofen mit Graphit-Heißzone-Tiegelofen, 20kW DC-Netzteil. Graphit Heiße Zone - Ø80 x 140mm
  • 2000°c Großer Labor-Vakuumofen mit Wolfram-Heißzonen-Tiegelofen, 5kW DC-Netzteil. Wolfram Heiße Zone - Ø150 x 75mm
  • 2000°c Extra großer Labor-Vakuum-Ofen mit Wolfram-Heißzonen-Tiegelofen, 20kW DC-Netzteil. Graphit-Heißzone - Ø80 x 140mm

Wafer-Heizung (Wafer-Größen)

  • 4" Graphit Hot Zone, 5kW DC-Netzteil
  • 4" Wolfram Hot Zone, 5kW DC-Netzteil
  • 6" Graphit Hot Zone, 10kW DC-Netzteil
  • 6" Wolfram Hot Zone, 10kW DC-Netzteil
  • 8" Graphit Hot Zone, 15kW DC-Netzteil
  • 8" Wolfram Hot Zone, 15kW DC-Netzteil

Benchtop-Öfen (Tiegel- und Wafergrößen)

  • 2000˚c Graphit-Tiegelofen 1,5kW DC-Netzteil - Ø20 x 30mm, Ø30 x 40mm, Ø40 x 50mm
  • 3000˚c Graphit-Tiegelofen 6kW DC-Netzteil - Ø20 x 30mm, Ø30 x 40mm, Ø40 x 50mm
  • 3000˚c TiCᶾ Tiegelofen 6kW DC PSU - Ø20 x 30mm, Ø30 x 40mm, Ø40 x 50mm
  • 2000˚c Graphit-Wafer-Ofen 1,5kW DC-Netzteil - 1", 2" & 3"
  • 2000˚c Wolfram-Wafer-Ofen 3kW DC PSU - 1", 2" & 3"
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