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Heizungsstufen
Wir bei Thermic Edge sind stolz darauf, an der Vorfront der Vakuum-Ofenindustrie zu stehen.Unsere maßgeschneiderten, vielfältigen Produktreihen bieten einen vollständigen Service und bieten die notwendigen Produkte für jede Anwendung.
Bei Thermic Edge bieten wir ein komplettes Sortiment an Heizelementen für Proben für alle Abscheidungssysteme und Anwendungen. Heizelemente und Proben können in jeder beliebigen Ausrichtung montiert werden. Unser Angebot an Manipulatoren bietet kostengünstige Optionen für die Probenrotation, die Heizelementrotation, den Probentransfer und die Proben-/Heizelementpositionierung.
Jede Stufe wird mit den erforderlichen Strom-, Thermoelement- und Wasserdurchführungen geliefert, so dass Sie nur noch die Leitungen anschließen müssen und sie ist einsatzbereit. Heizungssteuerungen und Stromversorgungen sind ebenfalls von Thermic Edge erhältlich.
Das Designteam von Thermic Edge arbeitet eng mit den Kunden zusammen, um diese zu unterstützen:
Standard-Heizungen und -Stufen wurden für den Einsatz im Vakuum, in Luft (oder O2 reichen Umgebungen) und im Ultrahochvakuum (UHV) entwickelt.
Viton® -gedichtete Drehdurchführungen für Hochvakuumanwendungen ermöglichen Anwendungen mit hohem Drehmoment. Magnetische und ferrofluidische Drehdurchführungen können verwendet werden, um echte UHV-Systeme bereitzustellen.
Thermic Edge-Substratheizer und -Stufen können für den Betrieb in korrosiven Atmosphären umgebaut werden. Zum Beispiel arbeiten unsere Vollgraphit-Heizkopfstufen, die für die Produktion von Solarzellen geliefert werden, in einer aggressiven Kupfer-Indium-Gallium-Selenid (CIGS)-Atmosphäre für 24 Stunden am Tag, 365 Tage im Jahr.
Jeder unserer Heizer kann an unsere Tische montiert werden. Das vielseitige Heizersortiment deckt Wafergrößen von Ø50mm [Ø2"] bis Ø152mm [Ø6"] und Temperaturen bis zu 1600°C [2912°F] ab.
Unsere Knopfheizungen wurden für Ø25mm [Ø1"] Proben entwickelt und die SiC3 beschichtete Graphitpalette wurde auf Ø200mm (Ø8") Wafer erweitert.
Unsere quadratischen und rechteckigen Heizungen können auch an Bühnen montiert werden.
Die Stufen können in beliebiger Ausrichtung in die Kammer eingebaut werden. In der Regel werden sie in die Oberseite der Kammer (so dass die Heizung nach unten zeigt) oder in die Unterseite der Kammer (so dass die Heizung nach oben zeigt) eingebaut.
Dadurch werden Funktionen wie Rotation und Probentransfer einfacher. Manchmal ist der einzige verfügbare Anschluss in der Seite der Kammer, und in diesem Fall können wir Lösungen wie die rechts abgebildete Baugruppe anbieten.
Typischerweise ist der Heizkopf kleiner als die Bohrung des verfügbaren Anschlussdurchmessers, es ist jedoch möglich, den Versteller an der Kammer zu montieren und den Heizer durch einen größeren Anschluss oder eine Tür anzuschließen.
Unser Standard-Linearmanipulator wird aus einem Paar Conflat-Flanschen hergestellt, die durch kantengeschweißte Faltenbälge verbunden sind.
Aluminiumdotter bieten Festigkeit und Stabilität, während die Baugruppe leicht bleibt.
Im Gegensatz zu vielen anderen ist die Konstruktion mit zwei Führungsschienen ausgestattet, die die Balganordnung überspannen. Dadurch wird die Biegebewegung des beweglichen Flansches reduziert und die Verdrehung der Leitspindel bei Belastung vermindert, so dass sich der bewegliche Flansch in einer kontrollierten, präzisen Bewegung auf den festen Flansch zubewegen kann und die Parallelität zwischen den beiden Flanschen sowie der minimale Verschleiß der Leitspindel erhalten bleiben.
Unser manueller Standard-Linearmanipulator wird aus einem Paar Conflat-Flanschen gefertigt, die durch kantengeschweißte Faltenbälge verbunden sind. Die Faltenbälge aus Aluminium bieten Festigkeit und Stabilität, während die Baugruppe leicht bleibt. Im Gegensatz zu vielen anderen Manipulatoren verfügt er über zwei Führungsschienen, die den Faltenbalg überspannen. Dadurch wird die Biegebewegung des beweglichen Flansches reduziert und die Verdrehung der Leitspindel bei Belastung vermindert, so dass sich der bewegliche Flansch in einer kontrollierten, präzisen Bewegung auf den festen Flansch zubewegen kann und die Parallelität zwischen den beiden Flanschen sowie der minimale Verschleiß der Leitspindel erhalten bleiben.
Alle manuellen Standard-Linearmanipulatoren sind mit einem metrischen/imperialen digitalen Linearmaßstab mit 100 µm Auflösung ausgestattet. Die Konstruktion umfasst Halterungen für digitale Encoder oder Endschalter, die auf Anfrage hinzugefügt werden können.
Die Verwendung von hochwertigen Edelstahl-Linearlagern (niedrige Reibwerte) und Igus® -Führungen sorgen für höchste Laufruhe bei gleichzeitig langer Lebensdauer.
Wenn Standard-Z-Verschiebungen nicht verwendet werden können, kann Thermic Edge die Z-Verschiebung wie rechts dargestellt an den Tischflansch anbauen. Diese Konstruktion umfasst drei Führungsschienen, die sie selbsttragend machen und daher nicht auf die Leitspindel für die Steifigkeit angewiesen sind (Anti-Durchbiegung/Drehung).
Diese große, verfahrbare Plattform kann eine einzelne Balggröße bis zu ø93,0 mm (interne, durchgehende Bohrung) oder mehrere Faltenbälge DN16-35/40CF (max. 3x) für unterschiedliche Durchführungen aufnehmen.
Linearmanipulatoren dieser Bauart können auf Wunsch mit unterschiedlichen Wegmesssystemen und Maßstäben ausgestattet werden. Sie können mit Montageflanschen von DN2022-350CF (Conflat) oder ISO200-400K/F (ISO geklemmt/geschraubt) und Standardhüben von entweder 50, 100 oder 250 mm konfiguriert werden.
Auf Anfrage kann unser hauseigenes Konstruktions- und Ingenieurteam größere Flanschgrößen und/oder größere Hublängen (bis zu 1000 mm) sowie eine X-Ausrichtung des oberen Flansches und Kippkonfigurationen berücksichtigen, um Ihren individuellen Anforderungen gerecht zu werden.Linear-Manipulatoren werden mit einem metrischen/zölligen digitalen Linearmaßstab mit 100 µm Auflösung installiert. Die Konstruktion umfasst Halterungen für digitale Encoder oder Endschalter, die auf Anfrage hinzugefügt werden können.
Die Verwendung von hochwertigen Edelstahl-Linearlagern (niedrige Reibwerte) und Igus® -Führungen sorgen für höchste Laufruhe bei gleichzeitig langer Lebensdauer.
Wenn Standard-Z-Verschiebungen nicht verwendet werden können, kann Thermic Edge die Z-Verschiebung wie rechts dargestellt an den Tischflansch anbauen. Diese Konstruktion umfasst drei Führungsschienen, die sie selbsttragend machen und daher nicht auf die Leitspindel für die Steifigkeit angewiesen sind (Anti-Durchbiegung/Drehung).
Diese große, verfahrbare Plattform kann eine einzelne Balggröße bis zu ø93,0 mm (interne, durchgehende Bohrung) oder mehrere Faltenbälge DN16-35/40CF (max. 3x) für unterschiedliche Durchführungen aufnehmen.
Linearmanipulatoren dieser Bauart können auf Wunsch mit unterschiedlichen Wegmesssystemen und Maßstäben ausgestattet werden. Sie können mit Montageflanschen von DN2022-350CF (Conflat) oder ISO200-400K/F (ISO geklemmt/geschraubt) und Standardhüben von entweder 50, 100 oder 250 mm konfiguriert werden.
Auf Anfrage kann unser hauseigenes Konstruktions- und Ingenieurteam größere Flanschgrößen und/oder größere Hublängen (bis zu 1000 mm) sowie eine X-Ausrichtung des oberen Flansches und Kippkonfigurationen entsprechend Ihren individuellen Anforderungen realisieren.
Bei Thermic Edge bieten wir Lösungen für die Rotation von Heizkopf und Probe an. Diese kann motorisch (Stepper oder Inverter) oder manuell (Handrad) angetrieben sein.
Der Heizkopf kann um die zentrale Achse gedreht werden, um gleichmäßig Wärme auf eine Oberfläche aufzubringen. Durch die Befestigung eines Arms an der zentralen Welle ist es möglich, die beheizte Probe über mehrere Abscheidungsquellen zu positionieren, ohne dass das System an die Atmosphäre gebracht werden muss.
Die beheizte Stufe zwischen verschiedenen durch Wiege oder zentrale Wellenrotation. Bei Bedarf binden wir gerne die Motoren und bevorzugten Temperaturregler unserer Kunden ein. Die Bühne kann manuell betrieben werden, oder sie kann leicht in die SPS-Steuerung der Systeme integriert werden.
Unsere Dreh- / Lineardurchführungen bestehen aus einer mit Viton®-Dichtungen abgedichteten Zentralwelle, die mit Igus®-Lagern abgestützt und von einem robusten Edelstahl-Flanschgehäuse umschlossen ist.
Das Profil der Viton-Dichtungen sorgt dafür, dass bei minimaler Kompression ein sicheres Vakuum sowohl für Dreh- als auch für Linearbewegungen entsteht, was sie sehr vielseitig und zuverlässig macht.
Alle Durchführungen können wie folgt konfiguriert werden.
UHV - Magnetisch
HV - Fluorkautschuk Viton® gedichtete Drehdurchführungen für Hochvakuumanwendungen ermöglichen Anwendungen mit hohem Drehmoment.
Ferrofluidisch?
Wir bei Thermic Edge sind stolz darauf, an der Spitze der Vakuum-Heiztechnologie-Industrie zu stehen. Wir bieten einen kompletten Service, unsere maßgeschneiderten und vielseitigen Produktreihen geben Ihnen die notwendigen Werkzeuge für jede Inert-, HV- oder UHV-Anwendung.
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