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Experten für Substratheizung

Vakuum-Heizungen

Wir bei Thermic Edge sind stolz darauf, an der Vorfront der Vakuum-Ofenindustrie zu stehen.Unsere maßgeschneiderten, vielfältigen Produktreihen bieten einen vollständigen Service und bieten die notwendigen Produkte für jede Anwendung.

Hohe Temperatur - hohe Gleichmäßigkeit - wassergekühlte Heizelemente

Auf dieser Seite finden Sie Informationen zu unseren Standard-Heizlösungen, die wir zusätzlich zu unseren Heizgeräten der Serien Versatile und Button anbieten. Dazu gehören:

  • 1000°C Graphit oder Kohlenstoff-Kohlenstoff-Verbundwerkstoff (CCC) inertes und vakuumtaugliches keramisches Spitzenheizgerät
  • 1300°C, hohe Gleichmäßigkeit SiC3-beschichteter Graphit, inert, luft- und vakuumtauglich, keramikgekrönte Substratheizung
  • 1700°C CCC inerter und vakuumtauglicher keramischer Spitzenheizer (wassergekühlt)
  • 1900°C Alle Graphitheizungen sind inert und vakuumtauglich

Jede dieser Heizungen kann mit unseren Stufen integriert werden, um zu liefern:

  • Drehbarer Wafer
  • Z-Verschiebung
  • RF- oder DC-Vorspannung bis zu 1000W
  • Wasser- oder Gaskühlung

1000°c - sIc3 cOATED GRAPHITE OR ccc (iNERT & vACUUM)

FEATURES

  • Die Temperatur der oberen Platte beträgt 1000C, die Temperatur des Elements etwa 1200C.
  • Für den Einsatz in Hochvakuum, UHV, inerter Atmosphäre & O2-Umgebungen.
  • Kundenspezifische Größen sind auf Anfrage erhältlich.
  • Schnelle Rampenraten
  • Heizgerät mit interner Wärmeabschirmung
  • Der Heizsockel ist wassergekühlt, was die Wärmebelastung der Kammer und der empfindlichen Geräte reduziert.
  • Das Heizelement ist mit einem keramischen Mantelthermoelement vom Typ K ausgestattet.
  • Kann an Linear- und Drehantrieb oder in beliebiger Ausrichtung montiert werden.
  • Der Heizer kann freistehend oder angeflanscht sein.
  • Wasser-, Strom- und Thermoelementanschlüsse können an der Rückseite oder an der Seite des Heizsockels austreten.
  • Ø1" Heizelement passt durch den NW38CF-Flansch, vollständig montiert (mittleres Bild oben)

Produkt-Broschüren

200.06-A - 1000°C CCC-Element-Heizkopf Nur

Klicken Sie hier, um unsere Produktbroschüre für den Thermic Edge 1000°C Kohlenstoff-Kohlenstoff-Verbundwerkstoff-Heizkörper (nur Kopf) herunterzuladen.

200.07-B - 1000°C CCC-Element-Heizung Flanschmontage

Klicken Sie hier, um unsere Produktbroschüre für das Thermic Edge 1000°C Kohlenstoff-Kohlenstoff-Verbundstoff-Heizelement (Flanschmontage) herunterzuladen.

SPEZIFIKATIONEN

1000°C SiC3-Element - Luft, O2, Inert, HV, UHV Nur Heizkopf
Teil-Nr.ØA - Heiße ZoneØB - Heizkörper o.d.C - Dicke des HeizelementsMontage*Spannung Max*Strom Max*Leistung Max
HTWM6-SiC-0126mm (1")36,6 mm52mmM6-Bolzen6v39a234w
HTWM6-SiC-01.538,1 mm (1,5")48,7 mm52mmM6-Bolzen10v39a390w
HTWM6-SiC-0250,8 mm (2")61,4mm52mmM6-Bolzen15v39a585w
1000°C CCC-Element - Nur Inert-, HV-, UHV-Heizkopf
Teil-Nr.ØA - Heiße ZoneØB - Heizkörper o.d.C - Dicke des HeizelementsMontage*Spannung Max*Strom Max*Leistung Max
HTWM6-CCC-0126mm (1")36,6 mm52mmM6-Bolzen6v39a234w
HTWM6-CCC-01.538,1 mm (1,5")48,7 mm52mmM6-Bolzen10v39a390w
HTWM6-CCC-0250,8 mm (2")61,4mm52mmM6-Bolzen15v39a585w

*Im Vakuum @ 1000°C (Elementtemp.)

1300°C Hohe Gleichmäßigkeit SiC3-beschichtete Graphit-Substratheizungen (Inert, Luft, Vakuum)

Unsere sauerstoffbeständigen Heizelemente für hohe Temperaturen verwenden massives Siliziumkarbid (SiC) oder SiC-beschichtete Graphitelemente

FEATURES

  • Die Temperatur der oberen Platte beträgt 1300C, die Temperatur des Elements ca. 1500C.
  • Hohe Temperaturgleichmäßigkeit von <2% auf der oberen Platte.
  • Schnelle Rampenraten, bis zu 1300C pro Minute (abhängig von der verwendeten Stromversorgung)
  • 1300°C Temperatur der keramischen Deckplatte (1500°C Elementtemperatur)
  • Kann kurzzeitig auf 1600C gedrückt werden
  • Begrenzt auf 1000°C obere Plattentemperatur im Hochvakuum
  • Temperaturgleichmäßigkeit ±1,0%
  • Integriertes Thermoelement (Typ abhängig von Einsatztemperatur und Umgebung)
  • Getestet mit mehreren Thermoelementen und FLIR Wärmebildkamera
  • Kann in beliebiger Ausrichtung montiert werden
  • Probe kann direkt auf die Keramikplatte des Heizers gelegt werden
  • Bestimmte Proben können direkt auf das Element gelegt werden
  • Standardgrößen von Ø1" bis Ø8"
  • Für den Einsatz in Hochvakuum, inerter Atmosphäre und O2 / Luft
  • Kundenspezifische Formen und Größen auf Anfrage erhältlich
  • Wasserkühlung als Standard
  • Normalerweise auf einem Basisflansch mit integrierten Strom- und Wasserkühldurchführungen montiert, kann aber auch kundenspezifisch gestaltet werden

Produkt-Broschüren

200.06-A - 1000°C CCC-Element-Heizkopf Nur

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200.07-B - 1000°C CCC-Element-Heizung Flanschmontage

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SPEZIFIKATIONEN

Teil-Nr.Ø WafergrößeØA - Heiße ZoneØB - Heizkörper o.d.C - Dicke des Heizelements*Spannung Max*Strom Max*Leistung Max
HTSW-CCC-0377mm (3")901494260251500
HTSW-CCC-04102mm (4")1161754260402400
HTSW-CCC-05128mm (5")1412004260603600
HTSW-CCC-06153mm (6")1662254260804800
HTSW-CCC-07179mm (7")19225142601106600
HTSW-CCC-08204mm (8")21827742601408400

*Im Vakuum @ 1200°C



1700°C Keramik im Vakuum Heizer mit SiC3 beschichtetem Graphit oder Kohlenstoff-Kohlenstoff-Verbundstoff (CCC) Substrat Heizer Inert und Vakuum

Unsere höchsten Standard-Heizungen arbeiten mit einer Temperatur der oberen Platte von 1700°C. Die Größe des Heizers kann je nach Bedarf erhöht werden. 

FEATURES

  • 1700°C Temperatur der keramischen Deckplatte
  • Integriertes Thermoelement Typ C
  • Kann in beliebiger Ausrichtung montiert werden
  • Die abgebildete Ø1"-Version ist CF40-geflanscht und passt komplett montiert durch einen Ø38mm-Anschluss
  • Wassergekühlte Durchführungen und Gehäuse als Standard
  • Erhitzt die obere Platte in 3 Minuten auf 1700 °C und benötigt 530 W zum Halten der Temperatur
  • Probe kann direkt auf die Keramikplatte des Heizers gelegt werden
  • Standardgrößen von Ø1" bis Ø6"
  • Für den Einsatz im Hochvakuum oder in inerter Atmosphäre
  • Kundenspezifische Formen und Größen auf Anfrage erhältlich
  • Normalerweise auf einem Basisflansch mit integrierten Strom- und Wasserkühldurchführungen montiert, kann aber auch kundenspezifisch angepasst werden

Produkt-Broschüren

200.11-A - 1700°C Heizer mit CCC-Element und wassergekühltem Gehäuse

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SPEZIFIKATIONEN

1700°C - Inert, HV, UHV - Erhitzerkopf wassergekühlt
Teil-Nr.ØA - Heiße ZoneØB - Heizkörper o.d.C - Dicke des HeizelementsMontageSpannung MaxStrom MaxLeistung Max
HTWM6-CCC-0126mm (1")36,6 mm52mmM6-Bolzen17 Volt33 Ampere561 Watt
HTWM6-CCC-01.538,1 mm (1,5")48,7 mm52mmM6-Bolzen40 Spannungen30 Ampere1200 Watt
HTWM6-CCC-0250,8 mm (2")61,4mm52mmM6-Bolzen60 Volt35 Ampere2100 Watt

*Im Vakuum @ 1900°C (Elementtemp.)

1700°C - Inert, HV, UHV - Erhitzerkopf wassergekühlt
Teil-Nr.Ø WafergrößeØA - Heiße ZoneØB - Heizkörper o.d.C - Dicke des HeizelementsSpannung MaxStrom MaxLeistung Max
HTSW-CCC-0377mm (3")901494260251500
HTSW-CCC-04102mm (4")1161754260402400
HTSW-CCC-05128mm (5")1412004260603600
HTSW-CCC-06153mm (6")1662254260804800
HTSW-CCC-07179mm (7")19225142601106600
HTSW-CCC-08204mm (8")21827742601408400

*Im Vakuum @ 1200°C

Vollgraphitgekühltes oder ungekühltes Heizgerät mit Graphit- oder Keramik-Abdeckplatte und CCC-Element

Das fortschrittliche Kohlenstoff-Kohlenstoff-Verbundelement und die technische Keramik mit hoher Wärmeleitfähigkeit sowie Graphitqualitäten ermöglichen Top-Plate-Temperaturen von bis zu 1900°C mit einer sehr schnellen Rampenrate.

FEATURES

  • 1700°C Temperatur der keramischen Deckplatte
  • Integriertes Thermoelement Typ C
  • Kann in beliebiger Ausrichtung montiert werden
  • Die abgebildete Ø1"-Version ist CF40-geflanscht und passt komplett montiert durch einen Ø38mm-Anschluss
  • Wassergekühlte Durchführungen und Gehäuse als Standard
  • Erhitzt die obere Platte in 3 Minuten auf 1700 °C und benötigt 530 W zum Halten der Temperatur
  • Probe kann direkt auf die Keramikplatte des Heizers gelegt werden
  • Standardgrößen von Ø1" bis Ø6"
  • Für den Einsatz im Hochvakuum oder in inerter Atmosphäre
  • Kundenspezifische Formen und Größen auf Anfrage erhältlich
  • Normalerweise auf einem Basisflansch mit integrierten Strom- und Wasserkühldurchführungen montiert, kann aber auch kundenspezifisch angepasst werden

Alle Heizungen werden mit Stromkabeln und internen Thermoelementen geliefert und können mit Netzteilen und Reglern geliefert werden.

Unser Auftrag

Wir bei Thermic Edge sind stolz darauf, an der Spitze der Vakuum-Heiztechnologie-Industrie zu stehen. Wir bieten einen kompletten Service, unsere maßgeschneiderten und vielseitigen Produktreihen geben Ihnen die notwendigen Werkzeuge für jede Inert-, HV- oder UHV-Anwendung.

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