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Vakuum-Öfen
Wir bei Thermic Edge sind stolz darauf, an der Vorfront der Vakuum-Ofenindustrie zu stehen.Unsere maßgeschneiderten, vielfältigen Produktreihen bieten einen vollständigen Service und bieten die notwendigen Produkte für jede Anwendung.
Graphit-Labor-Vakuumöfen mit Graphit-Tiegeln oder Wafer-Proben-Heizzonen für die thermische Bearbeitung, Wärmebehandlung, Glühen & Vakuumsintern.
Die Labor-Vakuumöfen von Thermic Edge bieten eine Reihe von Graphit-Heißzonen, die für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet sind. Unser mittlerer Standard-Vakuumofen mit einer Tiegelgröße von Ø102 x 51mm hat eine maximale Temperatur von 2100˚c. Wir bieten auch eine alternative tiefere mittlere Heiße Zone mit Ø60,5 x 75mm, eine größere Größe mit Ø150 x 75mm und eine extra große Heiße Zone mit Ø180 x 140mm. Wir bieten auch flache Wafer-Heizzonen für Ø 4", Ø 6" und Ø 8" Probengrößen an
Die zylindrischen Graphitelemente sind äußerst effizient und ermöglichen schnelle Rampen, sind extrem stabil und die Verwendung einer doppelten Heizzone verbessert die Temperaturgleichmäßigkeit eine Abweichung von < +/- 1%.
2000°c Medium Labor-Vakuumofen mit Graphit-Heißzonen-Tiegelofen, 5kW DC-Netzteil.
Graphit Hot Zone - Ø60,5 x 75mm ODER Ø102mm x 51mm
2000°c Großer Labor-Vakuum-Ofen mit Graphit-Heißzonen-Tiegelofen, 15kW DC-Netzteil.
Graphit Hot Zone - Ø150 x 75mm
2000°c Extra großer Labor-Vakuumofen mit Graphit-Heißzonen-Tiegelofen, 20kW DC-Netzteil.
Graphit Hot Zone - Ø180 x 140mm
Ø 4" Graphit Hot Zone, 5kW DC-Netzteil
Ø 6" Graphit Hot Zone, 10kW DC-Netzteil
Ø 8" Graphit Hot Zone, 15kW DC-Netzteil
Für das Testen von Wafer-Proben verwenden unsere Labor-Vakuumöfen ein CCC-Element, das in einer heißen Zone aus Graphit eingeschlossen ist, um sowohl einzelne Proben mit großen Durchmessern als auch kleinere Proben, die in einer Suszeptorplatte gehalten werden, zu erhitzen.
Wafer-Probenöfen reichen von 4" bis 8" Ø Probengröße, mit Dual-Zonen-Option bei 8".
Der Laborofen 3000˚c hat die gleiche Grundfläche wie der Standardofen, weist aber einige Änderungen auf.
Die Labor-Vakuumöfen von Thermic Edge bieten eine benutzerfreundliche Oberfläche, die ihre einfache Bedienung über ein modernes Touchscreen-HMI-Display fördert, das die Steuerung aller Funktionen für das Abpumpen des Ofens, die Gasverarbeitung und die Entlüftung ermöglicht. Mit mehreren Bildschirmen für den Betrieb, Verriegelungsanzeigen und Mimik mit Ventilzuständen.
Die HMI ermöglicht dem Benutzer die Steuerung der automatischen Abpumpsequenz, die dazu dient, Restsauerstoff aus der Kammer und dem Inneren zu entfernen, um die Lebensdauer der heißen Zone zu verlängern und die Möglichkeit des Auftretens von Oxidation zu vermeiden.
Zwei unabhängige Gaseingänge werden ebenfalls über das am Arm montierte HMI gesteuert, wobei ihre individuellen Durchflüsse manuell über Nadelventile an die Anforderungen des Benutzers angepasst werden. Die Pumpendrehzahlen werden auch manuell über ein Vakuum-Speedi-Ventil geregelt, das an der Vorderseite des Vakuumofens montiert ist und eine manuelle Steuerung des Kammerdrucks und der Gasflussraten ermöglicht.
Temperatur und Datenaufzeichnung werden über einen Eurotherm Nanodac PID-Temperaturregler / Datenlogger geregelt, der zur Datenanalyse an einen entfernten PC angeschlossen werden kann. Mit der mitgelieferten Software können mehrstufige Prozesszyklen programmiert werden, die eine einfache Wiederholungsprüfung und eine einfache Anpassung der Programme ermöglichen.
Die vollständig wassergekühlte Vakuumkammer und die Stromdurchführungen halten die Außenseite der Kammer auf Umgebungstemperatur und verhindern eine Überhitzung, so dass ein längerer Betrieb möglich ist.
Alle Labor-Vakuumöfen benötigen eine elektrische Versorgung, Kaltwasserzufuhr und -abfluss, Argon-Gas zur Entlüftung, Prozessgasversorgung und Abgasleitung.
Wir bei Thermic Edge sind stolz darauf, an der Spitze der Vakuum-Heiztechnologie-Industrie zu stehen. Wir bieten einen kompletten Service, unsere maßgeschneiderten und vielseitigen Produktreihen geben Ihnen die notwendigen Werkzeuge für jede Inert-, HV- oder UHV-Anwendung.
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