Experten für Substratheizung

Vakuum-Heizungen

Wir bei Thermic Edge sind stolz darauf, an der Vorfront der Vakuum-Ofenindustrie zu stehen.Unsere maßgeschneiderten, vielfältigen Produktreihen bieten einen vollständigen Service und bieten die notwendigen Produkte für jede Anwendung.

Vakuum-Heizungen Übersicht

Thermic Edge liefert kostengünstige Wafer-Heizungen, Vakuum-Heizungen und Proben-Heizungen mit hoher Gleichmäßigkeit an Forschung und Industrie für die Dünnschichtabscheidung und Probenverarbeitung. Unsere Probenheizungen können mit Haltern oder Clips geliefert werden, um eine Reihe von Halbleiterwafern oder Proben zu halten.

Alle Heizgeräte werden umfassenden Tests unterzogen. Unsere hauseigenen Testmöglichkeiten umfassen Helium-Leckprüfungen, vollständige Temperaturtests mit einem Vakuum-Testsystem und Gleichmäßigkeitstests mit einer FLIR-Wärmebildkamera. Thermic Edge ist nach ISO 9001 zertifiziert.

Das Designteam von Thermic Edge arbeitet eng mit den Kunden zusammen, um diese zu unterstützen:

  • Professionell gemanagte Projekte von Anfang bis Ende
  • Kostengünstige Lösungen unter Verwendung von Standard-Thermic-Edge-Komponenten und -Baugruppen, wo immer möglich
  • Detaillierte technische Zeichnungen und schriftliche Spezifikationen
  • 3D-CAD-Modelle
  • Eine Heizungslösung, die vollständig getestet und bereit zur Integration in Ihr System geliefert wird
  • Handbuch mit detaillierten Installations- und Betriebsanweisungen
Vakuum-Heizung Drahtgitter
Wafer-Heizung
Wafer-Heizung mit angeflanschter Probenheizung
Musterheizungsschaltplan

Vielseitige Heizungen

800°C - 1600°C [ O2, Inert, HV, UHV ]

Vielseitige Heizungen

800°C - 1600°C [O2, Inert, HV, UHV]

Nickel-Chrom-Heizungen

800°C - 1000°C [ Luft, Inert, HV ]

Nickel-Chrom-Heizungen

800°C - 1000°C [ Luft, Inert, HV ]

Knopfheizungen

800°C - 1400°C [ Luft, HV, UHV ]

Knopfheizungen

800°C - 1400°C [ Luft, HV, UHV ]

Halogenlampen-Heizungen

900°C [ Luft, Inert, Vakuum ]

Halogenlampen-Heizungen

800°C - 1000°C [ Luft, Inert, HV ]

Alle keramischen Heizgeräte

800°C - 1600°C [ Luft, HV, UHV ]

Alle keramischen Heizgeräte

800°C - 1600°C [Luft, HV, UHV]

Hohe Temperatur, hohe Gleichmäßigkeit, wassergekühlt

1000°C - 1700°C [ Luft, Inert, HV, ]

Hohe Temperatur, hohe Gleichmäßigkeit, wassergekühlt

1000°C - 1700°C [ Luft, Inert, HV, ]

PG-PBN-Heizungen

800°C - 1400°C [ Luft, HV, UHV ]

PG-PBN-Heizungen

800°C - 1400°C [ Luft, HV, UHV ]

Maßgeschneiderte Heizungen

Kundenspezifische Spezifikation

Maßgeschneiderte Heizungen

Kundenspezifische Spezifikation

Substrat-Vakuum-Heizungen

Merkmale

  • Standardprobenheizungen mit direktem Kontakt sind für Probengrößen von einem Zoll (25,4 mm) bis zu sechs Zoll (152,4 mm) heißen Zonen erhältlich. Größere Größen sind als Sonderausführungen erhältlich
  • Lampenheizungen werden für Strahlungsheizungsanwendungen geliefert
  • Konfigurationen für Hochvakuum, UHV, Sauerstoff, Luft und korrosive Umgebungen
  • Standard-Elementwerkstoffe sind Inconel, Nickel-Chrom (NiCr), Kohlenstoff-Kohlenstoff-Verbund (CCC), rein Siliziumkarbid (SiC3) CVD-beschichteter Graphit und Wolfram
  • Temperaturen bis 1600°C als Standard (höhere Temperaturen können auf Anfrage erreicht werden)
  • Schnelles Hochfahren und effizient
  • Lieferung mit geeignetem internen Thermoelement zur Messung der Regeltemperatur
  • Freistehend, Stehbolzenmontage oder Flanschmontage
  • Grundelemente bis hin zu kompletten Systemen
  • Gute Gleichmäßigkeit der Probenheizfläche als Standard (<±2%). Extra hoher Uniformitätsbereich (<±1%)
  • Wasserkühlung verfügbar, um die Wärmebelastung der Kammer zu minimieren
  • Größere Größen und andere Formen auf Anfrage erhältlich
  • Vollständig anpassbar mit kompletten, maßgeschneiderten Lösungen
  • Tischmontage möglich, wenn Rotation, Z-Verschiebung und RF- oder DC-Vorspannung erforderlich sind
  • Inklusive Vakuum- und luftseitiger Kabelkonfektionen
  • Gebaut und getestet in Großbritannien

Der Qualität verpflichtet

Alle Heizgeräte werden umfassenden Tests unterzogen. Unsere hauseigenen Testmöglichkeiten umfassen Helium-Leckprüfungen, vollständige Temperaturprüfungen mit einem Vakuum-Testsystem und Gleichmäßigkeitsprüfungen mit einer FLIR-Wärmebildkamera. Thermic Edge ist nach ISO 9001:2015 registriert.

Beispiel Heizstufen

Thermic Edge bietet ein komplettes Sortiment an Probenheizungen Heizstufen für alle Anwendungen von Dünnschicht-Beschichtungssystemen. Heizelemente und Proben können in jeder beliebigen Ausrichtung montiert werden. Die Manipulatoren der Thermic Edge-Reihe bieten kosteneffiziente Optionen für die Probenrotation, die Heizerrotation, den Probentransfer und die Positionierung von Probe und Heizelement.

Probenheizstufen können mit Probenvorspannung (HF oder DC) bis zu 1000 W und komplett mit Temperaturregler und Netzteil angeboten werden. Für Heizer und Stufen mit HF-Vorspannung können eine vollständige Abschirmung und eine Leistungs-/Thermoelementleitungsfilterung geliefert werden. Wassergekühlte Heizer können mit Kältemaschinen geliefert werden.

Maßgeschneidert

Thermic Edge ist darauf spezialisiert, maßgeschneiderte Lösungen für Heizungsanwendungen zu liefern, die mit Standardheizungen und -stufen nicht erfüllt werden können. Das Designteam von Thermic Edge arbeitet eng mit den Kunden zusammen, um diese zu unterstützen:

  • Professionell gemanagte Projekte
  • Kostengünstige Lösungen unter Verwendung von Standard-Thermic-Edge-Komponenten und -Baugruppen, wo immer möglich
  • Detaillierte technische Zeichnungen und schriftliche Spezifikationen
  • 3D-CAD-Modelle (falls erforderlich)
  • Eine Heizungslösung, die vollständig getestet und bereit zur Integration in Ihr System geliefert wird

Handbuch mit detaillierten Anweisungen zur Installation, Spezifikation und Bedienung

Temperaturregler

Mit einer TemperaturreglerFür die Vorbereitung von Dünnschichten für chemische Gasphasenabscheidungssysteme kann die Substratheizung je nach Spezifikationsanforderungen angepasst werden.

Zusätzliche Informationen

Wenden Sie sich noch heute an unser technisches Verkaufsteam, wenn Sie Hilfe benötigen oder eine größere Heizgerätegröße wünschen.

Zusätzliche Optionen umfassen, sind aber nicht beschränkt auf:

  • Wasserkühlung zur Minimierung der Wärmebelastung der Kammer und anderer Geräte
  • Probenhalterclips, Masken oder Halterungen
  • Flansch- oder Heizstufenmouting (für Rotation und Probentransfer)
  • Probenvorspannung (DC oder RF bis zu 1000W)
  • Spannungsversorgung
  • Temperaturregler
  • Ersatz-Elemente
  • Zweites Thermoelement

DOWNLOADABLES

204.03-A - A4 - Elemente Übersicht

Klicken Sie hier, um unsere Produktbroschüre für alle Thermic Edge Element Materialien herunterzuladen.

de_DEDeutsch

Kontakt

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